硅酸盐学报2008，Vol.36Issue(11)：1609-1614,6.
铌酸锂晶体的抛光机理及精密加工工艺
POLISHING MECHANISM AND PRECISION MACHINING TECHNOLOGY OF LITHIUM NIOBATE CRYSTAL
刘立新 1张学建 1张莹 2吕凯 1张志斌 1张辉荣 3官周国 3刘景和3
作者信息
- 1. 长春理工大学,长春,130022
- 2. 吉林建筑工程学院,长春,130021
- 3. 西南技术物理研究所,成都,610041
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摘要
关键词
铌酸锂晶体/二氧化硅抛光液/化学机械抛光/环形抛光分类
数理科学引用本文复制引用
刘立新,张学建,张莹,吕凯,张志斌,张辉荣,官周国,刘景和..铌酸锂晶体的抛光机理及精密加工工艺[J].硅酸盐学报,2008,36(11):1609-1614,6.
