传感技术学报2006，Vol.19Issue(5)：1610-1612,3.
微机械高冲击传感器的一种失效模式研究
A Failure Mode of Micro Mechanical Shock Sensors
孙远程 1杨波 2彭勃 2赵龙 2张茜梅2
作者信息
- 1. 复旦大学信息科学与工程学院微电子学系,上海,200433
- 2. 中国工程物理研究院电子工程研究所,上海,200000
- 折叠
摘要
关键词
高冲击/微机械传感器/失效模式分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
孙远程,杨波,彭勃,赵龙,张茜梅..微机械高冲击传感器的一种失效模式研究[J].传感技术学报,2006,19(5):1610-1612,3.
