热驱动微型电场传感器

陈贤祥彭春荣白强陈绍凤夏善红

中国机械工程2005，Vol.16Issue(z1)：161-163,3.

Thermally Driven Micro Electric Field Sensor

陈贤祥 ¹彭春荣 ²白强 ¹陈绍凤 ²夏善红¹

作者信息

微型电场传感器/热驱动/有限元模拟/微细加工

信息技术与安全科学

陈贤祥,彭春荣,白强,陈绍凤,夏善红..热驱动微型电场传感器[J].中国机械工程,2005,16(z1):161-163,3.

国家863高技术研究发展计划资助项目(2004AA404030) （2004AA404030）

OA北大核心CSCD

ISSN：1004-132X

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