真空电子技术Issue(5)：16-17,21,3.
用残余气体分析仪测量和计算分压强
Measuring and Calculating the Partial Pressures with Residual Gas Analyzer
肖琼 1彭晓华1
作者信息
- 1. 中科院高能物理研究所,北京,100049
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摘要
关键词
残余气体分析/离子流/分压强分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
肖琼,彭晓华..用残余气体分析仪测量和计算分压强[J].真空电子技术,2008,(5):16-17,21,3.
