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快速热处理对BaSrTiO3薄膜微结构的影响

张雪峰 李会容 武昭妤

材料工程Issue(9)：16-19,4.
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材料工程Issue(9)：16-19,4.

快速热处理对BaSrTiO3薄膜微结构的影响

Influences of Rapid Annealing on Microstructure of BaSrTiO3 Thin Films

张雪峰 1李会容 2武昭妤1

作者信息

  • 1. 钒钛资源综合利用四川省重点实验室,四川,攀枝花,617000
  • 2. 攀枝花学院,电气信息工程学院,四川,攀枝花,617000
  • 折叠

摘要

关键词

BaSrTiO3薄膜/晶化/快速热处理/XRD/AFM

分类

通用工业技术

引用本文复制引用

张雪峰,李会容,武昭妤..快速热处理对BaSrTiO3薄膜微结构的影响[J].材料工程,2009,(9):16-19,4.

基金项目

四川省科技厅应用基础研究项目(2007J13-005) （2007J13-005）

材料工程

OA北大核心CSCDCSTPCD

1001-4381

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