国防科技大学学报2005，Vol.27Issue(3)：16-19,29,5.
实验条件对纳米多孔二氧化硅薄膜性能的影响
Effects of Experimental Conditions on the Properties of Nanoporous Silica Films
摘要
关键词
纳米多孔SiO2薄膜/溶胶-凝胶/低介电常数分类
通用工业技术引用本文复制引用
王娟,张长瑞,冯坚..实验条件对纳米多孔二氧化硅薄膜性能的影响[J].国防科技大学学报,2005,27(3):16-19,29,5.基金项目
国家部委重点资助项目(41312040307) （41312040307）
