类金刚石薄膜是80年代初出现的新型非金属薄膜材料之一 ,其优异的综合性能引起了人们极大的兴趣.本文对类金刚石薄膜的近期进展进行了概括性介绍,重点介绍在此基础上发展起来的氟化类金刚石薄膜材料(FDLC),包括氟元素对类金刚石薄膜(DLC)在结构、性能及在沉积工艺上所带来的的影响等.
作者：唐雄心;赵建生
作者单位：华中科技大学,材料学院,华中科技大学,材料学院,
分类：数理科学
中文关键词：氟化类金刚石薄膜研究进展
刊名：《湖北汽车工业学院学报》 2001 (4)
页码/页数：16-20,5
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