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一种硅四层键合的高对称电容式加速度传感器

徐玮鹤 车录锋 李玉芳 熊斌 王跃林

半导体学报2007，Vol.28Issue(10)：1620-1624,5.
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半导体学报2007，Vol.28Issue(10)：1620-1624,5.

一种硅四层键合的高对称电容式加速度传感器

A Highly Symmetrical Capacitive Accelerometer by Silicon Four-Layer Bonding

徐玮鹤 1车录锋 2李玉芳 1熊斌 1王跃林1

作者信息

  • 1. 中国科学院上海微系统与信息技术研究所,传感技术国家重点实验室,上海,200050
  • 2. 中国科学院研究生院,北京,100049
  • 折叠

摘要

关键词

电容式加速度传感器/硅/硅键合/圆片级真空封装

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

徐玮鹤,车录锋,李玉芳,熊斌,王跃林..一种硅四层键合的高对称电容式加速度传感器[J].半导体学报,2007,28(10):1620-1624,5.

基金项目

国家高技术研究发展计划资助项目(批准号:2006AA04Z363) （批准号:2006AA04Z363）

半导体学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1674-4926

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