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半导体学报
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氢化非晶氧化硅薄膜光致发光起源的探讨
氢化非晶氧化硅薄膜光致发光起源的探讨
马智训
廖显伯
何杰
程文超
岳国珍
王永谦
刁宏伟
孔光临
半导体学报
Issue(2)：162-167,6.
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半导体学报
Issue(2)
：162-167,6.
氢化非晶氧化硅薄膜光致发光起源的探讨
马智训
1
廖显伯
1
何杰
2
程文超
2
岳国珍
2
王永谦
2
刁宏伟
2
孔光临
2
作者信息
1.
中国科学院半导体研究所凝聚态物理中心表面物理国家实
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摘要
关键词
光致发光
/
氧化硅
/
半导体薄膜技术
分类
信息技术与安全科学
引用本文
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马智训,廖显伯,何杰,程文超,岳国珍,王永谦,刁宏伟,孔光临..氢化非晶氧化硅薄膜光致发光起源的探讨[J].半导体学报,1999,(2):162-167,6.
半导体学报
OA
北大核心
CSCD
ISSN：
1674-4926
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