半导体学报2006，Vol.27Issue(1)：162-167,6.
负载刚度对电热微执行器输出性能的影响分析
Effect of Load Stiffness on the Output of Thermal Microactuators
摘要
关键词
微机电系统/微执行器/柔性机构/深刻蚀分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
高建忠,赵玉龙,蒋庄德,杨静..负载刚度对电热微执行器输出性能的影响分析[J].半导体学报,2006,27(1):162-167,6.基金项目
国家自然科学基金(批准号:50535030,50475085)及国家重点基础研究发展规划(批准号:2004CB619302)资助项目 （批准号:50535030,50475085）
