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Al/BaTiO3/Si结构的湿敏特性与机理研究

李观启 吴英才 黄美浅 曾绍鸿 刘百勇

ACTA PHYSICA SINICAIssue(10)：1628-1635,8.
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ACTA PHYSICA SINICAIssue(10)：1628-1635,8.

Al/BaTiO3/Si结构的湿敏特性与机理研究

李观启 1吴英才 1黄美浅 1曾绍鸿 1刘百勇1

作者信息

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摘要

关键词

钛酸钡/MIS/湿敏特性/湿度传感器

分类

信息技术与安全科学

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李观启,吴英才,黄美浅,曾绍鸿,刘百勇..Al/BaTiO3/Si结构的湿敏特性与机理研究[J].ACTA PHYSICA SINICA,1995,(10):1628-1635,8.

ACTA PHYSICA SINICA

OA北大核心CSCD

1000-3290

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