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基于"8悬臂梁-质量块"结构的新颖x轴音叉式硅微机械陀螺

段飞 焦继伟 王育才 张颖 宓斌玮 李金鹏 钱清 王跃林

半导体学报2007，Vol.28Issue(10)：1630-1635,6.
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半导体学报2007，Vol.28Issue(10)：1630-1635,6.

基于"8悬臂梁-质量块"结构的新颖x轴音叉式硅微机械陀螺

A Novel Micromachined x-Axis Tuning Fork Gyroscope Based on "8-Beams/Proofmass" Structure

段飞 1焦继伟 2王育才 1张颖 1宓斌玮 2李金鹏 1钱清 1王跃林1

作者信息

  • 1. 中国科学院上海微系统与信息技术研究所,传感技术联合国家重点实验室,上海,200050
  • 2. 中国科学院研究生院,北京,100039
  • 折叠

摘要

关键词

微机械陀螺/x轴/音叉式陀螺/"8悬臂梁-质量块"结构/限制槽/(111)硅晶圆

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

段飞,焦继伟,王育才,张颖,宓斌玮,李金鹏,钱清,王跃林..基于"8悬臂梁-质量块"结构的新颖x轴音叉式硅微机械陀螺[J].半导体学报,2007,28(10):1630-1635,6.

基金项目

国家高技术研究发展计划资助项目(批准号:2006AA04Z312) （批准号:2006AA04Z312）

半导体学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1674-4926

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