半导体学报2004，Vol.25Issue(12)：1639-1646,8.
GaN-MOCVD设备反应室流场的CFD数值仿真
CFD Simulation of Flow Patterns in GaN-MOCVD Reactor
摘要
关键词
CFD/GaN/MOCVD/数值仿真分类
数理科学引用本文复制引用
刘奕,陈海昕,符松..GaN-MOCVD设备反应室流场的CFD数值仿真[J].半导体学报,2004,25(12):1639-1646,8.基金项目
国家自然科学基金(批准号:10232020),国家重点基础研究专项经费(批准号:2001CB409600),国家高技术研究发展计划(批准号:2002AA311240)资助项目 （批准号:10232020）
