传感技术学报2007，Vol.20Issue(7)：1644-1647,4.
一种非接触高精度平面高度差检测方法
Non-Contact High Accuracy Measurement Method for Height Difference of Surfaces
刘力双 1吕乃光 1孙双花 2王宝光2
作者信息
- 1. 北京机械工业学院电子信息工程系,北京,100085
- 2. 天津大学精密测试技术与仪器国家重点实验室,天津,300072
- 折叠
摘要
关键词
电容传感器/高度差/非接触/高精度分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
刘力双,吕乃光,孙双花,王宝光..一种非接触高精度平面高度差检测方法[J].传感技术学报,2007,20(7):1644-1647,4.
