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利用GaAs基上InGaAs应变层制备有序排列的InAs量子点

张春玲 赵凤瑷 徐波 金鹏 王占国

半导体学报2004,Vol.25Issue(12):1647-1651,5.
半导体学报2004,Vol.25Issue(12):1647-1651,5.

利用GaAs基上InGaAs应变层制备有序排列的InAs量子点

Ordering Growth of InAs Quantum Dots with Ultra-Thin InGaAs Strained Layer on GaAs Substrates

张春玲 1赵凤瑷 1徐波 1金鹏 1王占国1

作者信息

  • 1. 中国科学院半导体研究所,半导体材料开放实验室,北京,100083
  • 折叠

摘要

关键词

Ⅲ-Ⅴ族半导体材料/应力/量子点/有序生长

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

张春玲,赵凤瑷,徐波,金鹏,王占国..利用GaAs基上InGaAs应变层制备有序排列的InAs量子点[J].半导体学报,2004,25(12):1647-1651,5.

基金项目

国家重点基础研究发展计划(批准号:G2000068303),国家自然科学基金(批准号:60290071,60276014,90101004,90201033)和国家高技术研究发展计划(批准号:2002AA311070,2002AA311170)资助项目 (批准号:G2000068303)

半导体学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1674-4926

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