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甲醇在热阴极DC-PCVD方法制备金刚石膜过程中的作用

姜志刚 金曾孙 白亦真 曹培江 张露 杨广亮 李俊杰 吕宪义

高等学校化学学报2002,Vol.23Issue(9):1648-1650,3.
高等学校化学学报2002,Vol.23Issue(9):1648-1650,3.

甲醇在热阴极DC-PCVD方法制备金刚石膜过程中的作用

Influence of Methanol Addition on Diamond Films Deposition with Hot Cathode DC-PCVD Method

姜志刚 1金曾孙 1白亦真 1曹培江 1张露 1杨广亮 1李俊杰 1吕宪义1

作者信息

  • 1. 吉林大学超硬材料国家重点实验室,长春,130023
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摘要

关键词

热阴极DC-PCVD/甲醇/辉光放电/金刚石膜的生长特性

分类

数理科学

引用本文复制引用

姜志刚,金曾孙,白亦真,曹培江,张露,杨广亮,李俊杰,吕宪义..甲醇在热阴极DC-PCVD方法制备金刚石膜过程中的作用[J].高等学校化学学报,2002,23(9):1648-1650,3.

基金项目

教育部优秀中青年项目和吉林省科学技术委员会计划发展基金(批准号: 980544)资助. (批准号: 980544)

高等学校化学学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

0251-0790

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