半导体学报2006，Vol.27Issue(9)：1650-1656,7.
MEMS薄膜材料参数在线测试方法与技术
A Test System for the in situ Extraction of the Material Parameters of MEMS Thin Films
摘要
关键词
MEMS/薄膜/材料参数/在线测试分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
黄庆安,刘祖韬,李伟华,李巧萍..MEMS薄膜材料参数在线测试方法与技术[J].半导体学报,2006,27(9):1650-1656,7.基金项目
国家高技术研究发展计划资助项目(批准号:2003AA404010) （批准号:2003AA404010）
