北京科技大学学报2002，Vol.24Issue(2)：165-168,4.
NH3,PH3热分解对Ⅲ-Ⅴ族半导体MOVPE外延生长的影响
Pyrolysis Effect of NH3 and PH3 on the Composition Spaces for MOVPE Growth of III-V Semiconductors
摘要
关键词
热力学分析/V族气源/热分解/GaN/(Ga1-xInx)P/MOVPE分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
李长荣,卢琳,王福明,张维敬..NH3,PH3热分解对Ⅲ-Ⅴ族半导体MOVPE外延生长的影响[J].北京科技大学学报,2002,24(2):165-168,4.基金项目
国爱"863"计划项目资助课题(No.715-010-0032) （No.715-010-0032）
