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类金刚石膜的制备方法和性能

李雪

重庆工学院学报(自然科学版)2009,Vol.23Issue(6):165-171,7.
重庆工学院学报(自然科学版)2009,Vol.23Issue(6):165-171,7.

类金刚石膜的制备方法和性能

Preparation Method and Performance of DLCF

李雪1

作者信息

  • 1. 绍兴文理学院物理与电子信息系,浙江,绍兴,312000
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摘要

关键词

类金刚石膜/制备方法/结构

分类

通用工业技术

引用本文复制引用

李雪..类金刚石膜的制备方法和性能[J].重庆工学院学报(自然科学版),2009,23(6):165-171,7.

基金项目

国家自然科学基金资助项目(60776004). (60776004)

重庆工学院学报(自然科学版)

OACSTPCD

1674-8425

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