强激光与粒子束2008，Vol.20Issue(10)：1653-1657,5.
超精抛光中边缘效应对材料去除量的影响
Edge effects on material removal amount in ultra precise polishing process
摘要
关键词
超精抛光/边缘效应/表面模型/压强分布/去除量分类
矿业与冶金引用本文复制引用
杨炜,郭隐彪,许乔,李亚国..超精抛光中边缘效应对材料去除量的影响[J].强激光与粒子束,2008,20(10):1653-1657,5.基金项目
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