光学精密工程2008，Vol.16Issue(9)：1666-1672,7.
13.9和19.6nm正入射Mo/Si多层膜反射镜的反射率测量
Reflectivity measurements of normal-incidence Mo/Si multilayer mirrors at 13.9 and 19.6nm
摘要
关键词
Mo/Si多层膜反射镜/反射率测量/表面粗糙度/极紫外光源/激光等离子体光源分类
数理科学引用本文复制引用
李敏,董宁宁,刘震,刘世界,李旭,范鲜红,王丽辉,马月英,陈波..13.9和19.6nm正入射Mo/Si多层膜反射镜的反射率测量[J].光学精密工程,2008,16(9):1666-1672,7.基金项目
国家自然科学基金资助项目(No.40774098 （）
No.60677043) （）
