物理化学学报2009，Vol.25Issue(8)：1671-1677,7.
不同类型GaAs上应用约束刻蚀剂层技术进行电化学微加工
Electrochemical Micromachining on Different Types of GaAs by Confined Etchant Layer Technique
摘要
关键词
阳极溶解/砷化镓/约束刻蚀剂层技术/刻蚀剂/捕捉剂分类
化学化工引用本文复制引用
汤儆,王文华,庄金亮,崔晨..不同类型GaAs上应用约束刻蚀剂层技术进行电化学微加工[J].物理化学学报,2009,25(8):1671-1677,7.基金项目
The project was supported by the National Natural Science Foundation of China(20873112)and Fund of National Engineering Research Center for Optoelectronic Crystalline Materials of China(2005DC105003).国家自然科学基金(20873112)和国家光电子晶体材料工程技术研究中心开放课题(2005DC105003)资助项目 （20873112）
