红外与毫米波学报2002，Vol.21Issue(3)：167-170,4.
RF-HFCVD生长高质量纳米金刚石薄膜
HIGH QUALITY NANOCRYSTALLINE DIAMOND FILMS GROWN BY RF-HFCVD
摘要
关键词
纳米金刚石薄膜/射频等离子体增强热丝化学气相沉积/光透过率分类
数理科学引用本文复制引用
邱东江,吴惠桢,陈奶波,石成儒..RF-HFCVD生长高质量纳米金刚石薄膜[J].红外与毫米波学报,2002,21(3):167-170,4.基金项目
浙江省自然科学基金(批准号596030)资助项目 （批准号596030）
