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两种热驱动结构在微型电场传感器中的应用

叶超 陈贤祥 彭春荣 陶虎 夏善红

半导体学报2006，Vol.27Issue(9)：1672-1675,4.
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半导体学报2006，Vol.27Issue(9)：1672-1675,4.

两种热驱动结构在微型电场传感器中的应用

Application of Two Thermal Actuators in Miniature Electric Field Sensors

叶超 1陈贤祥 2彭春荣 1陶虎 2夏善红1

作者信息

  • 1. 中国科学院电子学研究所,传感技术国家重点实验室,北京,100080
  • 2. 中国科学院研究生院,北京,100039
  • 折叠

摘要

关键词

热驱动结构/V型梁阵列/位移放大机构/电场传感器

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

叶超,陈贤祥,彭春荣,陶虎,夏善红..两种热驱动结构在微型电场传感器中的应用[J].半导体学报,2006,27(9):1672-1675,4.

基金项目

国家自然科学基金资助项目(批准号:90207006) （批准号:90207006）

半导体学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1674-4926

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