|国家科技期刊平台
| 注册
首页|期刊导航|人工晶体|射频辉光放电法制备掺氢微晶硅薄膜

射频辉光放电法制备掺氢微晶硅薄膜

刘洲峰

人工晶体Issue(3)：168,1.
✕
人工晶体Issue(3)：168,1.

射频辉光放电法制备掺氢微晶硅薄膜

刘洲峰1

作者信息

  • 折叠

摘要

引用本文复制引用

刘洲峰..射频辉光放电法制备掺氢微晶硅薄膜[J].人工晶体,1985,(3):168,1.

人工晶体

1000-985X

访问量0
|
下载量0
段落导航相关论文