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微尺寸SnAg凸点的制备技术及其互连可靠性

林小芹 朱大鹏 罗乐

半导体学报2008,Vol.29Issue(1):168-173,6.
半导体学报2008,Vol.29Issue(1):168-173,6.

微尺寸SnAg凸点的制备技术及其互连可靠性

Micro-Sized SnAg Solder Bumping Technology and Bonding Reliability

林小芹 1朱大鹏 2罗乐1

作者信息

  • 1. 中国科学院上海微系统与信息技术研究所,上海,200050
  • 2. 中国科学院研究生院,北京,100049
  • 折叠

摘要

关键词

SnAg/凸点/金属间化合物/孔洞/可靠性/多次回流

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

林小芹,朱大鹏,罗乐..微尺寸SnAg凸点的制备技术及其互连可靠性[J].半导体学报,2008,29(1):168-173,6.

基金项目

国家自然科学基金资助项目(批准号:60676061) (批准号:60676061)

半导体学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1674-4926

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