厦门大学学报（自然科学版）2008，Vol.47Issue(2)：169-171,3.
红外微腔探测器中金属支撑柱的制备工艺研究
Fabrication of Fine-line Ti Interlinked Micro Pillar Used in Infrared Detector
摘要
关键词
微互连柱/AZ5214E/反转/剥离分类
通用工业技术引用本文复制引用
何熙,陈松岩,方辉,罗仲梓,谷丹丹..红外微腔探测器中金属支撑柱的制备工艺研究[J].厦门大学学报（自然科学版）,2008,47(2):169-171,3.基金项目
国家自然科学基金(60576001,50672079,60676027)资助 （60576001,50672079,60676027）
