半导体学报2002，Vol.23Issue(2)：169-173,5.
BPM方法在SOI结构中的应用
Beam Propagation Method and Its Application in SOI Structures
摘要
关键词
BPM方法/ADI方法/PML边条件/SOI结构/光开关/虚传播方法/最小残差方法分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
张小峰,余金中,王启明,魏红振..BPM方法在SOI结构中的应用[J].半导体学报,2002,23(2):169-173,5.基金项目
国家自然科学基金(批准号69990540及69896260-06)和科技部973资助项目(合同号G20000366) （批准号69990540及69896260-06）
