传感技术学报2006，Vol.19Issue(5)：1693-1696,4.
光致硅微悬臂梁形变理论研究
Theoretical Study on Photo-Induced-Deforming Silicon Microcantilevers
摘要
关键词
光致应变效应/微悬臂梁/弯曲分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
郭育林,许谷城,周嘉,黄宜平,鲍敏杭..光致硅微悬臂梁形变理论研究[J].传感技术学报,2006,19(5):1693-1696,4.基金项目
国家自然科学基金项目资助(60476032) （60476032）
