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大面积光学级金刚石自支撑膜研究进展

吕反修 唐伟忠 李成明 陈广超 佟玉梅

红外技术2003,Vol.25Issue(4):1-7,7.
红外技术2003,Vol.25Issue(4):1-7,7.

大面积光学级金刚石自支撑膜研究进展

Progress on the R&D for Large Area Optical Grade Freestanding Diamond Films

吕反修 1唐伟忠 1李成明 1陈广超 1佟玉梅1

作者信息

  • 1. 北京科技大学,材料学院功能材料研究所,北京,100083
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摘要

关键词

光学级金刚石膜/制备和加工/光学性能/热学性能/机械性能/微波介电性能

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

吕反修,唐伟忠,李成明,陈广超,佟玉梅..大面积光学级金刚石自支撑膜研究进展[J].红外技术,2003,25(4):1-7,7.

基金项目

863计划支撑项目:(项目合同号为: 863-715-02(Z)-A, 863-715-Z38-03, 2002AA305508). (项目合同号为: 863-715-02(Z)

红外技术

OA北大核心CSCDCSTPCD

1001-8891

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