传感技术学报1996，Vol.9Issue(3)：1-7,7.
平膜片式薄膜压力传感器的线性度与灵敏度分析
The Analysis of the Linearity and Sensitivity of Thin-Film Pressure Transducers with the Structure of Flat Diaphgram
摘要
关键词
压力传感器/薄膜应变片/线性度/灵敏度分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
刘昆,王洪业..平膜片式薄膜压力传感器的线性度与灵敏度分析[J].传感技术学报,1996,9(3):1-7,7.
