金刚石与磨料磨具工程Issue(5):1-7,7.
纳米金刚石薄膜研究进展
PROGRESS OF THE RESEARCHES ON NANOCRYSTALLINE DIAMOND FILM
摘要
关键词
纳米金刚石薄膜/化学气相沉积/复合涂层分类
化学化工引用本文复制引用
王学根,孙方宏,张志明,沈荷生,陈明..纳米金刚石薄膜研究进展[J].金刚石与磨料磨具工程,2003,(5):1-7,7.基金项目
国家863计划新材料领域纳米材料与微机电系统专项资助项目(No.2002AA302613),上海市科技发展基金纳米专项资助项目(No.0159nm033) (No.2002AA302613)