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优化沉积参数对微晶硅薄膜太阳电池性能的影响

张晓丹 赵颖 高艳涛 朱锋 魏长春 孙建 耿新华 熊绍珍

人工晶体学报2006,Vol.35Issue(1):170-172,169,4.
人工晶体学报2006,Vol.35Issue(1):170-172,169,4.

优化沉积参数对微晶硅薄膜太阳电池性能的影响

Effect of Optimization of Deposition Parameters on the Performance of Microcrystalline Silicon Solar Cells

张晓丹 1赵颖 2高艳涛 3朱锋 4魏长春 4孙建 4耿新华 4熊绍珍4

作者信息

  • 1. 南开大学光电子薄膜器件与技术研究所,天津300071
  • 2. 南开大学光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室,天津300071
  • 3. 光电信息技术科学教育部重点实验室(南开大学,天津大学),天津300071
  • 折叠

摘要

关键词

微晶硅薄膜太阳电池/气体流量/硅烷浓度

分类

能源科技

引用本文复制引用

张晓丹,赵颖,高艳涛,朱锋,魏长春,孙建,耿新华,熊绍珍..优化沉积参数对微晶硅薄膜太阳电池性能的影响[J].人工晶体学报,2006,35(1):170-172,169,4.

基金项目

国家"973"重大基础研究发展规划项目(G2000028202 ()

G2000028203) ()

天津市科技攻关项目(No.043186511)和国家自然科学基金项目(No.60506003) (No.043186511)

人工晶体学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1000-985X

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