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基于Labview技术的光度式椭偏测厚仪的研究与设计

张牧 张诚 陈才和 王金海 张波 岳泉

电子器件2007，Vol.30Issue(1)：170-173,4.
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电子器件2007，Vol.30Issue(1)：170-173,4.

基于Labview技术的光度式椭偏测厚仪的研究与设计

Research and Design of Photoelectric Analysis Type Ellipsometer Based on Labview Technology

张牧 1张诚 1陈才和 2王金海 1张波 2岳泉1

作者信息

  • 1. 天津工业大学,天津,300160
  • 2. 天津大学精密仪器与光电子工程学院,光电信息技术科学教育部重点实验室,天津,300072
  • 折叠

摘要

关键词

椭偏仪/光度法/虚拟仪器/Labview/C8051F020

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

张牧,张诚,陈才和,王金海,张波,岳泉..基于Labview技术的光度式椭偏测厚仪的研究与设计[J].电子器件,2007,30(1):170-173,4.

基金项目

国家自然科学基金资助项目(49874031) （49874031）

电子器件

OACSTPCD

1005-9490

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