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半导体多层结构的热应变弯曲和层应力

冯哲川 刘弘度

半导体学报Issue(2)：171,1.
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半导体学报Issue(2)：171,1.

半导体多层结构的热应变弯曲和层应力

冯哲川 1刘弘度1

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冯哲川,刘弘度..半导体多层结构的热应变弯曲和层应力[J].半导体学报,1983,(2):171,1.

半导体学报

1674-4926

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