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激光制备类金刚石薄膜过程的影响因素

彭鸿雁 赵立新

牡丹江师范学院学报（自然科学版）Issue(4)：17-19,3.
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牡丹江师范学院学报（自然科学版）Issue(4)：17-19,3.

激光制备类金刚石薄膜过程的影响因素

彭鸿雁 1赵立新2

作者信息

  • 1. 牡丹江师范学院物理系,牡丹江,157011
  • 2. 牡丹江大学电教中心,牡丹江,157011
  • 折叠

摘要

关键词

激光/制备/类金刚石薄膜/波长/功率密度/等离子体技术/环境气氛

分类

数理科学

引用本文复制引用

彭鸿雁,赵立新..激光制备类金刚石薄膜过程的影响因素[J].牡丹江师范学院学报（自然科学版）,2003,(4):17-19,3.

牡丹江师范学院学报（自然科学版）

1003-6180

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