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材料工程
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低温沉积ITO透明导电膜的研究
低温沉积ITO透明导电膜的研究
沈玫
纪建超
贺会权
材料工程
Issue(z1)：17-19,3.
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材料工程
Issue(z1)
：17-19,3.
低温沉积ITO透明导电膜的研究
Investigation of Sputting Coating ITO Transparent Electrconductive Film at Lower Temperature
沈玫
1
纪建超
1
贺会权
1
作者信息
1.
北京航空材料研究院,北京,100095
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摘要
关键词
透明导电膜
/
ITO膜
/
磁控溅射
分类
数理科学
引用本文
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沈玫,纪建超,贺会权..低温沉积ITO透明导电膜的研究[J].材料工程,2006,(z1):17-19,3.
材料工程
OA
北大核心
CSCD
CSTPCD
ISSN：
1001-4381
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