电子器件2008，Vol.31Issue(6)：1720-1722,3.
溅射法制备ZnO薄膜结构及光学特性
Structure and Optical Properties of ZnO Films Prepared by Sputtering
摘要
关键词
znO薄膜/直流磁控溅射镀膜/透光率/光致发光分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
桂太龙,张秀芳,汪钢,梁栋..溅射法制备ZnO薄膜结构及光学特性[J].电子器件,2008,31(6):1720-1722,3.基金项目
黑龙江省自然科技基金资助(E2004-05) （E2004-05）
黑龙江省教育厅科技项目资助(11511091) （11511091）
