传感技术学报2006，Vol.19Issue(5)：1721-1724,4.
非晶硅微测辐射热计热学和光学分析
Thermal and Optical Analysis of Amorphous Silicon Micro-Bolometer
李世彬 1吴志明 1蒋亚东 1李伟 1廖乃镘1
作者信息
- 1. 电子科技大学光电信息学院电子薄膜与集成器件国家重点实验室,成都,610054
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摘要
关键词
微测辐射热计/非晶硅/微桥/有限元分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
李世彬,吴志明,蒋亚东,李伟,廖乃镘..非晶硅微测辐射热计热学和光学分析[J].传感技术学报,2006,19(5):1721-1724,4.
