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稀土化合物浆料对CVD金刚石厚膜的刻蚀

王佳宇 金爱子 白亦真 纪红 金曾孙

无机材料学报2002，Vol.17Issue(1)：172-174,3.
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无机材料学报2002，Vol.17Issue(1)：172-174,3.

稀土化合物浆料对CVD金刚石厚膜的刻蚀

Etching of CVD Diamond Thick Films by Rare-earth Compound Ink

王佳宇 1金爱子 1白亦真 1纪红 2金曾孙1

作者信息

  • 1. 吉林大学超硬材料国家重点实验室,长春,130023
  • 2. 吉林大学物理系,长春,130023
  • 折叠

摘要

关键词

CVD金刚石厚膜/刻蚀/稀土化合物浆料

分类

化学化工

引用本文复制引用

王佳宇,金爱子,白亦真,纪红,金曾孙..稀土化合物浆料对CVD金刚石厚膜的刻蚀[J].无机材料学报,2002,17(1):172-174,3.

基金项目

吉林大学青年基金资助项目 （）

无机材料学报

OA北大核心CSCDCSTPCDSCI

1000-324X

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