强激光与粒子束2008，Vol.20Issue(10)：1724-1726,3.
电子束蒸发法制备ZrO2薄膜的相变模型分析
Phase transition model analysis of ZrO2 thin film deposited by electron-beam evaporation
吴师岗1
作者信息
- 1. 山东理工大学,材料科学与工程学院,山东,淄博,255049
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摘要
关键词
ZrO2薄膜/相变模型/缺陷/X射线衍射/损伤阈值分类
数理科学引用本文复制引用
吴师岗..电子束蒸发法制备ZrO2薄膜的相变模型分析[J].强激光与粒子束,2008,20(10):1724-1726,3.
