传感技术学报2006，Vol.19Issue(5)：1725-1727,1730,4.
具有聚酰亚胺绝热层的新型非制冷红外探测器
New Type of Uncooled Infrared Detector with Polyimide Thermal-Isolation Structure
刘兴明 1韩琳 1刘理天1
作者信息
- 1. 清华大学微电子学研究所,北京,100084
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摘要
关键词
聚酰亚胺/测辐射热计/绝热结构分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
刘兴明,韩琳,刘理天..具有聚酰亚胺绝热层的新型非制冷红外探测器[J].传感技术学报,2006,19(5):1725-1727,1730,4.
