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掺钇二氧化锆薄膜制备及其特性测量

任树喜 马洪良 徐国庆 高召顺 周炯 张义炳

原子与分子物理学报2006,Vol.23Issue(1):173-176,4.
原子与分子物理学报2006,Vol.23Issue(1):173-176,4.

掺钇二氧化锆薄膜制备及其特性测量

Preparation and character measurements of Y2O3-doped ZrO2 films

任树喜 1马洪良 2徐国庆 2高召顺 2周炯 2张义炳2

作者信息

  • 1. 河北工业大学理学院,天津,300130
  • 2. 上海大学物理系,上海,200436
  • 折叠

摘要

关键词

电子束蒸发/掺钇氧化锆薄膜/退火温度/透射率

分类

数理科学

引用本文复制引用

任树喜,马洪良,徐国庆,高召顺,周炯,张义炳..掺钇二氧化锆薄膜制备及其特性测量[J].原子与分子物理学报,2006,23(1):173-176,4.

原子与分子物理学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1000-0364

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