计量学报2000，Vol.21Issue(3)：173-177,5.
表面形貌焦点跟踪测量方法的研究
Study on the Focus Tracing Method for Measuring Surface Topography
摘要
关键词
表面形貌/非接触测量/聚焦探测/伺服控制分类
通用工业技术引用本文复制引用
谢峰,谢铁邦,张新宝..表面形貌焦点跟踪测量方法的研究[J].计量学报,2000,21(3):173-177,5.基金项目
国家自然科学基金(59575083) （59575083）
