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利用Zernike多项式分析超薄镜热变形

解滨 肖志宏 余景池

光学精密工程2007,Vol.15Issue(2):173-179,7.
光学精密工程2007,Vol.15Issue(2):173-179,7.

利用Zernike多项式分析超薄镜热变形

Analyzing thermal deformation of ultra-thin mirror using Zernike polynomials

解滨 1肖志宏 1余景池1

作者信息

  • 1. 苏州大学,江苏省现代光学技术重点实验室,江苏,苏州,215006
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摘要

关键词

热变形/Zernike多项式/超薄镜/有限元法

分类

机械制造

引用本文复制引用

解滨,肖志宏,余景池..利用Zernike多项式分析超薄镜热变形[J].光学精密工程,2007,15(2):173-179,7.

基金项目

江苏省教育厅自然科学基金(No.05KJA4003) (No.05KJA4003)

光学精密工程

OA北大核心CSCDCSTPCD

1004-924X

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