光学精密工程2007,Vol.15Issue(2):173-179,7.
利用Zernike多项式分析超薄镜热变形
Analyzing thermal deformation of ultra-thin mirror using Zernike polynomials
摘要
关键词
热变形/Zernike多项式/超薄镜/有限元法分类
机械制造引用本文复制引用
解滨,肖志宏,余景池..利用Zernike多项式分析超薄镜热变形[J].光学精密工程,2007,15(2):173-179,7.基金项目
江苏省教育厅自然科学基金(No.05KJA4003) (No.05KJA4003)