高等学校化学学报2002,Vol.23Issue(9):1735-1737,3.
氢气流量对金刚石膜生长的影响研究
Effect of Hydrogen Gas Flow Rate on the Deposition of Diamond Films
杨广亮 1王立秋 2吕宪义 1金曾孙1
作者信息
- 1. 吉林大学,超硬材料国家重点实验室
- 2. 吉林大学,物理学院,长春,130023
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杨广亮,王立秋,吕宪义,金曾孙..氢气流量对金刚石膜生长的影响研究[J].高等学校化学学报,2002,23(9):1735-1737,3.