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氢气流量对金刚石膜生长的影响研究

杨广亮 王立秋 吕宪义 金曾孙

高等学校化学学报2002,Vol.23Issue(9):1735-1737,3.
高等学校化学学报2002,Vol.23Issue(9):1735-1737,3.

氢气流量对金刚石膜生长的影响研究

Effect of Hydrogen Gas Flow Rate on the Deposition of Diamond Films

杨广亮 1王立秋 2吕宪义 1金曾孙1

作者信息

  • 1. 吉林大学,超硬材料国家重点实验室
  • 2. 吉林大学,物理学院,长春,130023
  • 折叠

摘要

关键词

金刚石膜/顺磁氮/顺磁共振

分类

数理科学

引用本文复制引用

杨广亮,王立秋,吕宪义,金曾孙..氢气流量对金刚石膜生长的影响研究[J].高等学校化学学报,2002,23(9):1735-1737,3.

高等学校化学学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

0251-0790

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