强激光与粒子束2007，Vol.19Issue(10)：1739-1743,5.
CO2激光和等离子体清洗提高石英基片损伤阈值
Effects of CO2 laser and vacuum plasma cleanings on silica-oil-and-grease polluted quartz substrates
摘要
关键词
石英基片/硅油脂/激光清洗/等离子体清洗/激光损伤阈值分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
李绪平,祖小涛,袁晓东,蒋晓东,吕海兵,郑万国,唐灿,李珂,向霞,郭袁俊,徐世珍,袁兆林..CO2激光和等离子体清洗提高石英基片损伤阈值[J].强激光与粒子束,2007,19(10):1739-1743,5.基金项目
国家863计划项目资助课题 （）
新世纪优秀人才支持计划资助课题(NCET-04-0899) （NCET-04-0899）
