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HgCdTe分子束外延In掺杂研究

巫艳 王善力 陈路 于梅芳 乔怡敏 何力

红外与毫米波学报2001,Vol.20Issue(3):174-178,5.
红外与毫米波学报2001,Vol.20Issue(3):174-178,5.

HgCdTe分子束外延In掺杂研究

INDIUM DOPING ON MBE GROWN HgCdTe

巫艳 1王善力 1陈路 1于梅芳 1乔怡敏 1何力1

作者信息

  • 1. 半导体材料与器件研究中心及国家红外物理实验室, 中国科学院上海技术物理研究所,
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摘要

Abstract

The results of indium doping on MBE grown HgCdTe were described.It was found that the indium electrical activation was close to 100% in HgCdTe and the donor activation energy was at least smaller than 0.6meV. It was confirmed that a donor concentration of ~3×1015cm-3 was necessarily preserved for infrared FPAs applications. The diffusion behavior of indium was studied by thermal annealing, and a diffusion coefficient of ~10-14cm2/sec at 400℃ was obtained, which confirms the feasibility and validity of indium as an n-type dopant.

关键词

分子束外延/HgCdTe/In掺杂

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

巫艳,王善力,陈路,于梅芳,乔怡敏,何力..HgCdTe分子束外延In掺杂研究[J].红外与毫米波学报,2001,20(3):174-178,5.

基金项目

中国科学院知识创新工程、国家自然科学基金(编号 69425002)和国家高技术发展计划(编号 863-307-16-10)资助项目 (编号 69425002)和国家高技术发展计划(编号 863-307-16-10)

红外与毫米波学报

OA北大核心CSCDSCI

1001-9014

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