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微机械折叠波导慢波结构冷测特性的研究

朱正鹏 缪晻 瞿波 金玉丰 冯进军

传感技术学报2006，Vol.19Issue(5)：1757-1760,4.
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传感技术学报2006，Vol.19Issue(5)：1757-1760,4.

微机械折叠波导慢波结构冷测特性的研究

Research on Cold Characteristics of Bulk Micromachined Folded Waveguide Slow-Wave Structure

朱正鹏 1缪晻 2瞿波 2金玉丰 3冯进军4

作者信息

  • 1. 北京大学深圳研究生院,广东,深圳,518055
  • 2. 北京大学微米/纳米加工技术国家重点实验室,北京,100871
  • 3. 北京信息工程学院信息与通信工程系,北京,100101
  • 4. 北京真空电子研究所大功率微波电真空器件技术国防科技重点实验室,北京,100016
  • 折叠

摘要

关键词

太赫兹/真空电子技术/有限积分方法/微机电系统

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

朱正鹏,缪晻,瞿波,金玉丰,冯进军..微机械折叠波导慢波结构冷测特性的研究[J].传感技术学报,2006,19(5):1757-1760,4.

基金项目

2006年北京大学基金项目资助 （）

国家自然科学基金资助(60501007,60571016) （60501007,60571016）

北京市教委科技发展计划项目资助(KM200610772003) （KM200610772003）

传感技术学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1004-1699

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