传感技术学报2007，Vol.20Issue(8)：1771-1774,4.
基于介观压阻效应的硅微加速度计研究
Silicon Micro-Accelerometers Based on Meso-Piezoresistance
摘要
关键词
加速度计/灵敏度/介观压阻效应/共振隧穿分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
吴瑞,温廷敦..基于介观压阻效应的硅微加速度计研究[J].传感技术学报,2007,20(8):1771-1774,4.基金项目
国家自然科学基金资助(50405025,50375050) （50405025,50375050）
